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KeyFactor發(fā)布超低漏電流同軸測(cè)試探針-FemtoProbeKeyFactor成功研發(fā)出超低漏電流同軸測(cè)試探針：FemtoProbe，探針漏電流小于10fA。該探針采用獨(dú)特的同軸探針結(jié)構(gòu)，可將有效地屏蔽電場(chǎng)和磁場(chǎng)干擾，減小偏置漏電。靈活的探針結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，讓用戶可根據(jù)樣品及測(cè)試要求選擇探針折彎的角度（Bend Angle）或折彎的數(shù)量（Single Bend or Dual Bend），以適應(yīng)多種測(cè)試測(cè)量要求。 FemtoProbe同軸探針的成功研發(fā)，結(jié)束了由國(guó)外幾家廠商長(zhǎng)期壟斷微弱電流測(cè)試測(cè)量探針的局面，為中國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試測(cè)量事業(yè)注入了蓬勃的活力。
備注：以上測(cè)試結(jié)果由IPS-AS探針臺(tái)，配置置FemtoProbe測(cè)得。測(cè)試儀器為Keithley4200半導(dǎo)體參數(shù)分析儀（帶放大器）。溫度<25℃，濕度<45%。 |
