真空探針臺

　　一、溫度范圍與制冷形式

　　溫度范圍：通常，真空探針臺的溫度范圍較廣，以適應(yīng)不同材料的測試需求。例如，某些型號的溫度范圍可達(dá)80K475K或7K675K，覆蓋了從極低溫到高溫的廣泛區(qū)間。

　　制冷形式：常見的制冷形式包括液氮制冷等，以確保探針臺能夠在所需的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定運行。

　　二、探針臂與測量能力

　　探針臂數(shù)量：真空探針臺通常配備多個探針臂，以滿足不同測試點的需求。例如，某些型號可能配備4個直流探針臂。

　　探針臂移動距離：探針臂在X、Y、Z方向上的移動距離是關(guān)鍵的技術(shù)指標(biāo)，它決定了探針能夠到達(dá)的測試區(qū)域。例如，X方向上的移動距離可達(dá)51mm等。

　　測量頻率：探針臺能夠進(jìn)行直流到高頻(如50MHz)的電學(xué)測量，以適應(yīng)不同頻率下的測試需求。

　　三、控溫與測溫能力

　　控溫穩(wěn)定性：控溫穩(wěn)定性是衡量探針臺性能的重要指標(biāo)之一。優(yōu)秀的探針臺通常具有優(yōu)于±100mK的控溫穩(wěn)定性，以確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。

　　測溫方式：探針臺上通常配備溫度計，用于實時監(jiān)測探針和樣品的溫度。這有助于判斷系統(tǒng)是否達(dá)到溫度平衡，從而確保測試的準(zhǔn)確性。

　　四、顯微鏡系統(tǒng)

　　光學(xué)分辨率：顯微鏡系統(tǒng)的光學(xué)分辨率決定了能夠觀察到的最小細(xì)節(jié)尺寸。例如，某些探針臺的顯微鏡系統(tǒng)光學(xué)分辨率優(yōu)于4μm。

　　照明方式：為了清晰地觀察樣品，探針臺通常配備同軸光和環(huán)形光兩種照明方式。

　　五、其他技術(shù)指標(biāo)

　　真空度：真空探針臺的真空度是衡量其性能的重要指標(biāo)之一。高真空度可以減少空氣阻力、空氣振動等干擾因素，從而獲得更準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)。例如，某些探針臺的真空度可達(dá)2×10^-5 Torr。

　　樣品臺尺寸：樣品臺尺寸決定了能夠放置的樣品大小。常見的樣品臺尺寸包括2至8英寸等。

　　兼容性：探針臺通常兼容多種測試方法，如IV(電流-電壓)測試、CV(電容-電壓)測試和RF(射頻)測試等。這有助于滿足不同測試需求。

　　綜上所述，真空探針臺的技術(shù)指標(biāo)涵蓋了溫度范圍、探針臂與測量能力、控溫與測溫能力、顯微鏡系統(tǒng)以及其他技術(shù)指標(biāo)等多個方面，這些指標(biāo)共同決定了探針臺的性能和適用范圍。在選擇真空探針臺時，需要根據(jù)具體的測試需求和實驗條件來綜合考慮這些技術(shù)指標(biāo)。