探針臺探針如何進行清潔-延長探針耗材使用壽命

利用探針臺進行半導(dǎo)體表征參數(shù)的測量，離不開測試探針的使用。鍵德公司（KeyFactor）提供四種類型的探針：普通DC探針、同軸DC探針、有源探針和微波探針。在使用的過程中，探針表面有可能會沾上灰塵或者樣品上的氧化層，繼續(xù)使用可能會影響測試數(shù)據(jù)的可靠性。但報廢的話，特別是微波探針，將大大增加用戶耗材成本。在此，我們教大家三個方法，可輕松去除探針上的“頑漬”，延長探針耗材的使用壽命。

1、毛刷清潔法

適用范圍：5微米以上探針，微波探針。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針。

拿一張A4白紙，撕成細長條的形狀，最好是撕成細長的三角形形狀（大概5cm高左右）。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下（體視顯微鏡即可，放大倍數(shù)太高無法操作），利用撕下的紙片尖端作為毛刷，輕輕地將探針尖端的沾污物刷下。

2、壓針清潔法

適用范圍：鍵德公司（KeyFactor）的所有探針，灰塵比較靠近探針尖端的情況。

拿一張A4白紙，裁成樣品臺大小（或適當(dāng)?shù)某叽纾�，固定于樣品臺上。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下，慢慢下壓探針，待探針接觸到白紙后，向后移動探針，如下圖所示方向。多嘗試幾次走到探針上的灰塵脫落。

3、超聲清潔法

適用范圍：所有探針。

取適量的蒸餾水置于燒杯內(nèi)（燒杯大小以適合用戶操作為宜），并放到超聲波清洗機內(nèi)。打開超聲波清洗機，然后手捏住探針（注意戴丁腈手套），將針尖放入蒸餾水內(nèi)，讓震動把灰塵震落，可以隔一兩分鐘用顯微鏡觀察一次，直到灰塵掉落為止。將探針放到適當(dāng)?shù)奈恢昧栏珊蠹纯墒褂谩Ｕ堊⒁猓�若清潔微波探針，須將探針放置整晚晾干�?/span>

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